11日
05月
EUV光刻机,浪掷电量与一座小城市颠倒
点击收听本新闻听新闻 EUV光刻机,耗电问题很严峻。 极紫外 (EUV) 光刻手艺关于改日数年当代工艺手艺和半导体制造至关垂危。但是,每台 EUV 光刻机的耗电量为 1,400 千瓦(足以为一座小城市供电),EUV 光刻系统已成为影响环境的多数电力浪掷者。TechInsights 以为 ,到 2030 年,总共配备 EUV 光刻机的晶圆厂的年耗电量将越过 54,000 千兆瓦 (GW),这比新加坡或希腊等很多国度每年的耗电量还要多。 咫尺的低 NA EUV 扫描仪需要高达 1,170 kW 的功